Открыть раздел каталога: Вакуумные насосы РУТС RUVAC от Leybold GmbH
Параметр | WA/WS 251 | WA/WS 501 | WA/WS 1001 | WA/WS 2001 | WH 700 | WH/ WHU 2500 | WH/ WHU 4400 | WH/ WHU 7000 |
Скорость откачки, м3/ч | 253 | 505 | 1000 | 2050 | 710 | 2500 | 4400 | 7000 |
Эффект. быстрота действия, м3/ч | 210 | 410 | 800 | 1850 | 620 | 2200 | 3300 | 4700 |
с форвакуумным насосом, м3/ч | TRIVAC 65 | SOGEVAC 170 | SOGEVAC 240 | SOGEVAC 640 | SOGEVAC 240 | DRYVAC 650 | DRYVAC 650 | DRYVAC 650 |
Предельное давление, мбар | 5·10-4 | 4·10-2 | 4·10-2 | 4·10-2 | 4·10-2 | 6·10-4 | 6·10-4 | 6·10-4 |
Макс. перепад давлений, мбар | 80,0 | 80,0 | 80,0 | 50,0 | 60,0 | 50,0 | 30,0 | 20,0 |
Ном. мощность, кВт | 1,1 | 2,2 | 4,0 | 7,5 | 2,2 | 6,5/15,0 | 11,0/18,5 | 11,0/18,5 |
Входной патрубок | DN63 ISO-K | DN63 ISO-K | DN100 ISO-K | DN160 ISO-K | DN100 ISO-K | DN250 ISO-K | DN250 ISO-K | DN320 ISO-K |
Выходной патрубок | DN63 ISO-K | DN63 ISO-K | DN100 ISO-K | DN160 ISO-K | DN63 ISO-K | DN100 ISO-K | DN160 ISO-K | DN160 ISO-K |
Масса, кг | 85/89 | 128/133 | 220/225 | 400/406 | 125 | 390/410 | 590/620 | 650/715 |
Размеры, мм Д х Ш х В | 732 х 250 х 300 | 830 х 310 х 340 | 1054 х 376 х 396 | 1275 х 463 х 530 | 709 х 265 х 270 | 1015 х 428 х 354 | 1183 х 540 х 415 | 1433 х 540 х 415 |
Вакуумные насосы типа РУТС RUVAC позволяют получать давление на порядок меньше, чем даление форвакуумного насоса, также быстрота действия в диапазоне работы насоса РУТС зависит от номинальной быстроты действия насоса РУТС (которая относительно высокая). Точные параметры комбинаций РУТС/насос предварительного разряжения Вы можете увидеть в таблице технических параметров.
Практически преимущества насосов РУТС можно объяснить тем, что насос идельно работает в режимах среднего вакуума 1 - 5·10-5 мбар, он может давать высокие производительности потребляя небольшие мощности относительно 1-но ступенчатой системы с аналогичной производительностью.
Второе преимущество - это снижение остаточного давления системы на 1 порядок (в 10 раз). На практике это необходимо для правильно запуска высоковакуумных насосов: турбомолекулярных, криогенных, диффузионных. Запуск высоковакуумных насосов с высоких давлений - это нежелательная ситуация.
Скорость откачивания свыше 1000 м3/ч при режимах низкого вакуумацелесообразнее получать с помощью вакуумного насосного устройства типа РУТСRUVAC. Если вакуумный насосный агрегат предварительного разряжения подобран правильно, топри его комбинировании с устройством типа РУТС RUVAC становится возможнымзначительное увеличение быстроты откачки. Более того, верный подбор двухнасосов для системы делает совокупные затраты существенно меньше, нежели установкаодного большого насоса (или нескольких в последовательном режиме).
Запуск диффузионного высоковакуумного насоса (рекомендуемое давление запуска ниже 5·10-2 мбар) после откачки камеры одним плунжерным (золотниковым) насосом. Получается ситуация, когда насос предварительного разряжения дает давление 1-0,1 мбар (в лучшем случае), запускается диффузионный насос и он работает на нерасчетном режиме: диффузионный насос выдает 10-20% производительности, идет перегрев масла (при высоких давлениях 1 - 1·10-2 мбар), эжектор загрязняется сажей (от масла), ухудшаются характеристики диффузионного насоса, идет повышенный уход масла из выскоковакуумного насоса.
Система работает, и внешне Вы просто получаете небольшое увеличение времени откачки (которое часто является допустимым), со временем Вы получаете ухудшение работы диффузионного насоса и необходимость частой замены дорогого масла.
1 Синхронизирующие шестерни
2 Подшипники
3 Лабиринтное уплотнением
4 Пара роторов
5 Статор электродвигателя
6 Ротор электродвигателя
7 Эпоксидная изоляция
8 Вал ведущего ротора
9 Разбрызгиватель масла