Поставка вакуумного оборудования по России
Москва,
ул.Большая Семеновская, д. 40
| Параметр | 3 000 | 8 000 | 12 000 | 20 000 | 30 000 | 50 000 |
| Высоковакумный патрубок | 250 ISO-K | 400 ISO-K | 500 ISO-K | 630 ISO-K | 800 ISO-K | 1000 ISO-K |
| Форвакумный патрубок | 63 ISO-K | 63 ISO-K | 100 ISO-K | 100 ISO-K | 160 ISO-K | 160 ISO-K |
| Скорость откачки по воздуху при 10-4мбар, л/с | 3000 | 8000 | 12000 | 20000 | 30000 | 50000 |
| Диапазон рабочих давлений, мбар | 10-2 - 10-7 | |||||
| Предельное остаточное давление с LVO 500, мбар | 5·10-7 | |||||
| Предельное остаточное давление с LVO 500, мбар | 6·10-2 | |||||
| Масса, кг | 29 | 70 | 102 | 172 | 296 | 560 |
| Размеры, мм Д х Ш х В | 385 х 443 х 560 | 615 х 643 х 785 | 775 х 775 х 940 | 980 х 980 х 1130 | 1150 х 1150 х 1450 | 1350 х 1350 х 1880 |
В высоковакуумном пароструйном насосе заливаемая в него специальная рабочая жидкость (масло) путем нагревапреобразуется в пар, который проходит сквозь систему сопел. Последниеспроектированы так, чтобы выходящий паровой поток приобретал сверхзвуковуюскорость (так называемые сопла Лаваля). Под определенным углом парустремляется на стенки насоса, которые охлаждаются с внешней стороны с помощью спиральной трубки. Врезультате струя пара превращается в конденсат на стенках и стекает внижнюю часть насоса, где цикл повторяется. Наблюдается улавливание молекул газа потоком рабочей жидкости, то есть возникает меньшая вероятность хода молекул из насоса по сравнению с ходом молекул к насосу. Для реализации данной модели откачки необходимо созданые внутри насоса молекулярного режима течения - при давлениях выше максимально допустимых (параметр зависит от системы сопел) вакуумный диффузионный насос будет просто источником маслянного тумана и не будет иметь внутри себя систему сопел.
Диффузионный паромасляный вакуумный насос - это откачкное устройство,производительность которого зависит от способности паровой струи диффундировать в себя газ. Для дожатия откачиваемого газа до атмосферного давления нобходимо применять форвакуумный насос.
Сравнительно низкая плотность пара (как в струе, так и в нагревателе) позволяет молекуламгаза практически целиком проникать (диффундировать) в паровую струю. Такосуществляется откачка молекул. По обозначенным выше причинам скорость откачки у рассматриваемого насосного агрегата (в интервале давлений всасывания 10-3мбар именее, при котором давление не оказывает влияния на струю пара) стабильновысока.
При любых применениях данное насосное устройство нуждается в подходящем насосепредварительного разряжения (смотрите Технические сведения). Выбор типа иразмера форвакуумного агрегата происходит с учетом эксплуатационных условий игазовой нагрузки.
Во время установки устройства необходимо предусмотреть линию байпасной откачки длявакуумной камеры при помощи насоса с целью обеспечения предварительногоразряжения. Такое решение дает возможность создать в камере требуемый вакуумдля того, чтобы диффузионный вакуумный насос смог функционировать внормальном режиме.
Приоткрытом высоковакуумном клапане (4) диффузионный может находиться в том жеположении. Перед вентилированием вакуумной камеры высоковакуумный (4) иформакуумный (2) клапаны необходимо закрыть. Таким образом обеспечиваетсяготовность (прогретость) насосного аппарата.
Под скоростью откачки принято понимать объем газа, который проходит черезвсасывающий патрубок насоса. Для диффузионных насосов DIP данныйпоказатель по легким газам выше, чем по тяжелым.
Серия DIP - серия для получения минимальных давлений и стабильно высоких производительностей при давлениях ниже 2·10-4мбар
