Подробнее о конструкции и параметрах вакуумный крионасос COOLVAC криогенный вакуумный насос от Leybold GmbH

Раздел каталога по вакуумныи крионасосам COOLVAC и криогенным вакуумным насосам от Leybold GmbH

Технические параметры моделей COOLVAC быстроты действия 800-5000 л/с по азоту.

Технические параметры моделей COOLVAC быстроты действия 10000-60000 л/с по азоту.

* Кроссовер - это максимальное количество газа (приведенное к нормальным условиям - 1 атс, 20 _оС), которое при нахождении в вакуумной камере вызовет повышение температуры криопанелей на 20К, с учетом эффекта прорыва.

Процесс высоковакуумной откачки с использованием криогенных средств откачки, основываетсяна значительной активизации процессов сорбции молекул различных газов (азот, водород, аргон, ксенон, водяной пар, гелий и другие) в условиях криогенных температур. принято применять криогенные вакуумные решения в диапазоне давлений от 10^-3 до 10^-11 мбар.
Из-за наличия у крионасосов предела по максимальному количеству сорбированного газа их не выгодно применять при высоких давления (выше 10^-3) - крио панели быстро насытятся(наморозят) газом, "обледенеют" и потеряют способность сорбировать газ. Параметр емкости криогенной панели является довольно важным, например, для COOLVAC 10000, DN 500, емкость по Ar/N₂ равна 5500 бар·л).

Для того, чтобы получить высокий (либосверхвысокий) вакуум, специальные холодные поверхности (они же криопанели)обязаны обладать криогенным уровнем температур. По системе охлаждения криогенные средства откачки подразделяются на рефрижераторные, испарительные и оснащенныерезервуаром хладагента.

Рефрижераторные устройства от Leybold GmbH (Oerlikon Leybold Vacuum GmbH) характеризуются тем, что хладагентрасполагается в контуре, который в свою очередь объединяет криоголовку с компрессором.

Достоинства процесса откачки с помощью вакуумного крионасоса (криогенного вакуумного насоса):

• хорошие параметры откачки по всем газам;
• увеличенные показатели откачки по парам воды;
• достижение максимальных скоростей для входного высоковакуумного фланца определенных размеров;

Конструкционные преимущества крионасосов криогенных вакуумных насосов COOLVAC от Leybold:

• отсутствие высокоскоростных подвижных частей (в отличие от механических средств): безмасляный вакуум и высокая надежность;
• диапазон вакуума от 10^-3 до 10^-11 мбар;
• на процесс откачки не влияет наличие внешний вибрации.

Преимущества при эксплуатации криогенных вакуумных насосов:

• Оптимальные габаритные размеры для средств откачки выше 5000 л/с;
• периодичная работа устройств предварительной откачки: для создания предварительного разряжения, при регенерации;
• простота управления процессом откачки (различные варианты: панель CRYOVISION, программное обеспечение для ПК, интерфейсы, контакты для PLC;
• оптимальное высоковакуумное безмасляное решение для систем с большой производительностью (выше 20000 л/с).

Крионасос Leybold GmbH (Oerlikon Leybold Vacuum GmbH) охлаждается при помощи надежной двухступенчатой криоголовки, которая работает по действенному принципу авторства Гифорда/МакМахона.

1-ая ступень криогенной головки (9) производит охлаждение криопанелей 5 и 6. Взависимости от разновидности насосного устройства, а также эксплуатационныхусловий может достигаться температурный уровень в диапазоне 45-80 К.

Криогенныепанели производятся из меди. Данный материал обладает высокойтеплопроводностью, благодаря чему оптимизируется процесс переноса тепла. Криопанелитакже обладают специальным отражающим покрытием, помогающим существенно снизитьпотери энергии.

2-аяступень криогенной головки (7) участвует в охлаждении криопанели 8. Здесьмаксимальный температурный диапазон составляет 10-20 К.

Процессконденсации протекает в насосном устройстве в условиях криогенных температурследующих газов: азот (N2), аргон (Ar2) и кислород (O2). Внутренние элементы измеди прилегают достаточно плотно к поверхности второй ступени, принадлежащейкриогенной головке. Надлежащая откачка водорода (H2), гелия (He) и неона (Ne)тоже возможна, поскольку на охлаждаемых поверхностях имеется адсорбент.