Поставка вакуумного оборудования по России
Москва,
ул.Большая Семеновская, д. 40
Раздел каталога о датчиках измерения давления вакуума, вакуумметрах, контроллерах от Leybold GmbH (Германия)
Проспект о датчиках измерения давления вакуума, вакуумметрах, контроллерах от Leybold GmbH (Германия)
| Параметр | CERAVAC |
Линейные датчики давления |
THERMOVAC |
|||
| Вакуумные датчики | CTR 100N/ CTR101N | DI/DU 200/201 | DI/DU 2000/2001 | TTR 91N(S) TTR96N |
TTR 911N(C/S) | TTR 101N (S) |
| Принцип действия | диафрагма (нерж. сталь) | Мембранно емкостной (керамическая) | мембранно емкостной (керамическая) | MEMS-Пирани | MEMS-Пирани | MEMS-Пирани + Пьезо |
| Диапазон измерения, мбар | 1000 - 1·10-1 100 - 1·10-2 20 - 2·10-3 10 - 1·10-3 1 - 1·10-4 0.1 - 1·10-5 |
200 - 0,1 | 2000 - 1 | 1000 - 5·10-5 | 1000 - 5·10-5 | 1000 - 5·10-5 |
| Погрешность | 0,12 -0,5%(в зависимости от версии) | 0,25% от макс. значения | 5·10-4 - 1·10-3 - ± 10% 1·10-3 - 100 ±5% 100 - 1000 ±25% для TTR 101: 100 - 1000 ±0.75% |
|||
| Выходной сигнал/ интерфейс | RS 232 | DI: 4-20 мВ DU:2-10В |
DI: 4-20 мВ DU:2-10В |
0-24В | RS232, EtherCAT, Profibus | RS232, EtherCAT, Profibus |
| Тип контроллера | GRAPHIX | DISPLAY, GRAPHIX | DISPLAY, GRAPHIX | DISPLAY, GRAPHIX | DISPLAY, GRAPHIX | DISPLAY, GRAPHIX |
| Параметр | PENNINGVAC | Короткие циклы | IONIVAC | |||
| Вакуумные датчики | PTR 90N | PTR 225N PTR237N |
TTR 200N | PTR 200N | ITR 90 ITR 200S |
|
| Принцип действия | холодный катод (Пеннинга) и MEMS Пирани | холодный катод (Пеннинга) | MEMS (Пирани) отн. измерение | Холодный катод и MEMS (Пирани) отн. измерение | Байярд-Альперт и Пирани | |
| Диапазон измерения, мбар | 1·10-8 - 1000 | 1·10-8 - 5·10-3 | 5·10-5 - 1500 | 1·10-8 - 1500 | 5·10-10 - 1000 | |
| Погрешность | 5·10-4 - 1·10-3 ± 10% 1·10-3 - 100-3 ±5% 1·10-3 - 100 ±5% 100 - 1000 ±25% |
± 30% | 5·10-4 - 1·10-3 ± 10% 1·10-3 - 100-3 ±5% 1·10-3 - 100 ±5% 100 - 1000 ±25% |
1·10-8 - 1·10-3 ± 30% 1·10-4 - 1·10-3 - ± 10% 1·10-3 - 100 ±5% 100 - 1000 ±25% |
1·10-10 - 1000 ±15% | |
| Выходной сигнал/ интерфейс | RS232, EtherCAT | RS232, EtherCAT | RS232 | RS232 | RS232C, Profibus | |
| Тип контроллера | DISPLAY, GRAPHIX | DISPLAY, GRAPHIX | - | - | GRAPHIX | |
В настоящее время нижний порог измерения (определения) абсолютного давления вакуума составляет 10-12 мбар. Приборы (устройтсва) для определения давления в данном диапазоне ниже давления атмосферы принято называть вакуумметрами.
Стоит заметить, что из-за различных принципов измерения давления в различных диапазонах невозможно произвести подобное измерение вакуума на всем диапазоне прибором (сенсором/ вакуумметром). По этой причинекомпания Leybold GmbH (Германия) выпускает данные приборы самых различных типов. Срединих всегда можно выбрать подходящее решение для конкретной задачи.
Датчик вакуума существует двух основных видов: прямого и косвенного измерения. Показания первых от типа газа совершенно не зависят. А что касается показаний косвенногоизмерения, то здесь уже речь идет про результат измерения параметра чувствительного элемента (например, сопротивления, теплопроводности, ионизационной способности и так далее).
Измерение косвенных параметров чувствительного элемента не абсолютное решение для измерения давления во всех диапазонах - для всех вакуумметров указаны как различные погрешности измерений для диапазонов, так и торрировочные кривые для различных газов. Атомная масса вещества, которую имеет газ, при измерении газа косвенным методом оказывает влияние на результат измерения.
В механическом вакуумметре BOURDONVAC роль чувствительного элемента выполняет спиральная трубка, присоединение внутренняя полость которой присрединяется к объему. Вследствие разницы между стенками трубки - внутри и снаружи, происходит пластическая чувствительной трубки.
Актуальное давление показывает стрелка на специальной шкале. Спомощью датчика BOURDON можно производить измерения давляения вакума от 1000 мбар (атмосферное давление) до 10 мбар включительно с погрешностью 1% от максимального значения шкалы.
Механические вакуумметры Bourdonvac газонезависимые.
Данный вакуумный датчик имеет в своей конструкции вакуумированныйкапсюль со специальной диафрагмой. Когда давление измеряемом объеме меняется меняется давление на диафрагму (давление между капсюлем и измеряемым объемом), что меняет показание вакуумметра.
С помощью данного датчика можно производить измерения давляения вакума от 1000 мбар (атмосферное давление) до 1 мбар включительно с погрешностью 1%, 1.6%, 2.5% от максимального значения шкалы.
Механические диафрагменные вакуумметры газонезависимые.
