




Хотим сообщить о завершении поставки двух систем UNIVEX 600 - необходимо было заменить старые системы от Balzers (35 лет), которые уже не могли обеспечивать требуемых технологических требований. Заказчик - ведущая мировая компания в области полупроводников, специлизирующая в разработке и производстве узкоспециализированных кремниевых пластин. Компания искала замену двух 35-летних систем нанесения покрытия от Balzers. Leybold был одним из возможных поставщиков благодаря хорошему опыту с установкой нанесения покрытий UNIVEX 350, установленной около 10 лет назад. Эта установка до сих пор эксплуатируется для отработки экспериментальных покрытий.
В течение 6 месяцев клиент проводил процедуру выбора решения и поставщика - в результатае Leybold смогли убедить клиента в нашем решении и получить окончательный заказ против двух других конкурентов. Наше решение основано на компактном стандартном UNIVEX 600 с электронно-лучевым испарителем, двумя резистивными испарителями и ионным источником. Эффективный процесс откачки обеспечивается "сухим" решением: с помощью двух параллельных ТМН TURBOVAC MAG W2200 iP с маятниковым затвором, а также винтовым насосом LEYVAC LV80. Кроме того, стенки вакуумной камеры можно нагревать и охлаждать водой.
Leybold предложило две одинаковых системы для нанесения покрытий UNIVEX 600, которые будут монтироваться в чистых помещения. Это означает, что UNIVEX будет эксплуатироватьтся в чистой зоне, а все компоненты системы (насосы, клапаны, датчики, обвязка и контроллеры) будут расположены в сервисной зоне.
Подробнее о линейке напылительных вакуумных установок/систем UNIVEX от Leybold GmbH (Лейбольд, Германия)