Поставка вакуумного оборудования по России
Москва,
ул.Большая Семеновская, д. 40
| Параметр | W300P | W400P | W600P | W700P | W1500 | W2200 | W2800 | W3200 |
| Высоковакумный патрубок | 100 ISO-K 100 CF | 160 ISO-K 160 CF | 160 ISO-K 160 CF | 200 ISO-K 200 CF | 250 ISO-K 200 CF | 250 ISO-K 250 CF | 250 ISO-K 250 CF | 320 ISO-K |
| Форвакумный патрубок | 16 ISO-KF | 16 ISO-KF | 25 ISO-KF | 25 ISO-KF | 40 ISO-KF | 40 ISO-KF | 40 ISO-KF | 40 ISO-KF |
| Скорость откачки по азоту, л/с | 300 | 365 | 550 | 590 | 1220 | 2000 | 2650 | 3200 |
| Предельное остаточное давление ISO-K/CF, мбар | 1·10-8 / 1·10-10 | |||||||
| Макс. форвакуумное давление, мбар | 8,0 | 8,0 | 6,0 | 6,0 | 2,6 | 2,0 | 2,0 | 2,0 |
| Масса, кг | 12,0 | 12,0 | 17,0 | 17,0 | 32,0 | 28,0 | 64,0 | 65,0 |
| Размеры, мм Д х Ш х В | 155 х 155 х 250 | 180 х 180 х 250 | 204 х 204 х 281,5 | 240 х 204 х 280,5 | 285 х 285 х 307 | 317 х 317 х 371 | 307 х 307 х 391 | 425 х 425 х 316 |
Вакуумные турбомолекулярные насосы на магнитном подшипнике производятся серийно компанией Leybold GmbH (Германия) с 1975. Проблема ранних турбомолекулярных насосов того времени ненадежность и возможность эксплуатации только в неагрессивных применениях. Именно в 80-е годы различными отраслями промышленности было поставлен ряд сложных задач:
Одним словом, появилось большое количество перспективным применений, в которых применение классических высоковакуумных турбомолекулярных насосов было невозможным. Благадаря такой вынужденной потребности и произошел скачек в выпуске серийных турбомолекулярных насосов на магнином подвесе TURBOVAC MAG.
Первые TURBOVAC MAG имели небольшую производительность - 300 - 360 л/с, и основным применением стала реализация процессов испарения газовай фазы на подложки (напыление - ECVD PECVD PVD) с примененим вредных коррозионно-активных веществ.
Далее Leybold GmbH (Германия) начинает выпускать на рынок модели MAG 830 и 1300. Появляются также версии со специальным покрытием ротора и проточной части (для исключения реакции с откачиваемой средой) - версии C, а также модели со стабилизацией температуры внутри вакуумного насоса для исключения конденсации откачиваемых веществ - версии T.
Во внутреннем пространстве корпуса установлена турбина с лопатками. Вследствиетого, что скорости лопаток ротора и молекул газа полностью соизмеримы, образуетсяразница вероятностей движения газовых частиц по направлению от одного насоса кдругому (частицы проходят сквозь насос, но обратно не возвращаются). Процессоткачивания газа в рассматриваемом насосном устройстве находится в состояниизависимости от прямого потока газовых молекул, который движется от всасывающегофланца к форвакуумному порту.
Данная серия характеризуется наличием полноценного 5-ти осевого магнитного подшипника (но имееют опорный механический подшипник - для работы в аварийныхз ситуациях). все насосы серии MAG питаются от отдельного преобразователя частоты - это несомненно преимущество, т.к. срок службы электроники меньше срока службы насоса, также возможно разместить блок электроники на большом удалении от насоса - это нужно в применениях с особыми внешними условия вокруг насоса.
Функционирование насосов данной серии, оснащенных подвесом ротора магнитного типа, в паре с технически совместимыми форвакуумными насосами позволяет эксплуатировать ТМН в диапазоне давлений 10-1 мбар - 10-10 мбар. Показатель скорости откачивания по воздуху составляет 300 л/с - 3200л/с. Насосное оборудование линейки TURBOVAC MAG широко используется длясоздания проводников (то есть в тех процессах, где требуется откачивание сред,способных вызвать коррозию), а также в электронно-лучевых микроскопах.
