Поставка вакуумного оборудования по России
Москва,
ул.Большая Семеновская, д. 40
Раздел каталога о турбомолекулярных вакуумных насосах TURBOVAC от Leybold GmbH (Германия)
| Параметр | 50 | 50 | 151С | 361С | 361С | 600C | 1000C | 1000C | 1000C |
| Высоковакумный патрубок | 40 ISO-KF 40 CF |
63 ISO-K 63 CF |
100 ISO-K 100 CF | 160 ISO-K 160 CF | 160 ISO-K 160 CF | 160 ISO-K 160 CF | 160 ISO-K 160 CF | 200 ISO-K 200 CF | 250 ISO-K |
| Форвакумный патрубок | 16 ISO-KF | 16 ISO-KF | 25 ISO-KF | 25 ISO-KF | 25 ISO-KF | 40 ISO-KF | 40 ISO-KF 63 ISO-K | 40 ISO-KF | 40 ISO-KF 63 ISO-K |
| Скорость откачки по азоту, л/с | 33 | 55 | 145 | 345 | 400 | 560 | 850 | 1100 | 1150 |
| Газовая нагрузка по азоту, мбар·л/с | 0,9 | 1,0 | 1,5 | 3,0 | 3,0 | 4,0 | 6,5 | 6,5 | 6,5 |
| Предельное остаточное давление ISO-K/CF, мбар | 8·10-8 / 5·10-10 | ||||||||
| Макс. форвакуумное давление, мбар | 0,1 | 0,1 | 0,5 | 0,5 | 0,5 | 0,1 | 5·10-2 | 5·10-2 | 5·10-2 |
| Масса, кг | 2,0 | 2,0 | 8,0 | 17,0 | 17,0 | 17,0 | 25,0 | 25,0 | 25,0 |
| Размеры, мм Д х Ш х В | 93 х 93 х 166 | 93 х 93 х 157,5 | 132 х 132 х 207 | 196 х 196 х 254 | 196 х 196 х 254 | 225 х 225 х 317 | 258 х 258 х 338 | 258 х 258 х 351 | 258 х 258 х 310 |
Во внутреннем пространстве корпуса установлена турбина с лопатками. Вследствиетого, что скорости лопаток ротора и молекул газа соизмеримы, образуетсяразница вероятностей движения газовых частиц (частицы проходят сквозь насос, но обратно не возвращаются). Процессоткачивания газа в рассматриваемом турбомолекулярном насосе зависит от потока газовых молекул, который движется от всасывающегофланца к форвакуумному порту.
Турбомолекулярные вакуумные насосы предназначены для получения условий высокого, и сверхвысокого вакуума в необходимом объеме. Насосы от Leybold GmbH серии TURBOVAC на керамическом подшипнике, отличаются простой и надежностью - данная концепция уже долгое время производится на заводе Leybold в Германии.
Классическая линейка TURBOVAC это турбомолекулярный насос с отдельным блоком электроники - то есть преобразователь частоты и блок питания находятся не на корпусе насоса (в насосе) - для некоторых применений это является необходимым условием надежной многолетней эксплуатации.
Несмотря на то, что современные тенденции в турбомолекулярных насосах - это насосы на опорах с использованием магнитов - турбомолекулярные вакууные насосы на керамических подшипниках ещё долго будут существовать. Срок службы данных насосов во многих применениях исчисляется 10-ти летиями, поэтому довольно распространены случаи работы данных насосов более 50,000 ч.
Турбомолекулярные насосы серии TURBOVAC classic это как насосы с только турбомолекулярной ступенью так насосы, и имеющие молекулярную (дожимающую) ступень (ступень Хольвега).
Компания Leybold GmbH (Oerlikon Leybold Vacuum GmbH) стала первым производителем,который предложил серийные образцы данной продукции. В настоящее времятурбомолекулярный насос TURBOVAC MAG (равно как и TURBOVAC) успешно применяетсяв самых различных сферах (см. таблицу «Применения», находящуюся в разделе«Общие»).
Данная серия характеризуется наличием опорного подшипника ротора механического типа.При комбинировании таких насосных устройств с технически подходящимифорвакуумными насосами обеспечивается бесперебойное функционирование в пределах10-1 мбар - 10-10мбар.
Скоростные показатели откачивания по воздуху составляют порядка 35 л/с - 2400 л/с. Широкаяпопулярность такого оборудования в подавляющем большинстве высоко- исверхвысоковакуумных использований объясняется следующими преимуществами:компактностью конструкции, наличием практичного керамического подшипника, атакже легкостью в эксплуатации.
Каждый такой турбомолекулярный насос, цена которого является вполне доступной, имеетвместе с тем целый ряд других существенных плюсов:
