Гелиевый течеискатель Phoenix от Leybold это необходимый прибор для проверки как больших вакуумных систем на герметичность, так и для оценки герметичности отдельных изделий,
подробнее о приборах Phoenix L300i (3-е поколение) по ссылке , подробнее о приборах Phoenix Quadro по ссылке.
Прибор состоит из вакуумной откачной группы, клапанной группы, блока элекктроники, системы масс спектрометра.
С точки зрения особенностей работы и последующего обслуживания и ремонта отметим такие моменты о гелиевых течеискателях Phoenix:
- прибор является технически сложным и требует от оператора и механика (при обслуживании) знания инструкции по эксплуатации на прибор и входящие элементы
- конструкции и особенности работы гелиевых течеискателей различных производителей отличаются
- чаще всего проверка на герметичность камер (печи, напылительные машины больших объемов) тяжелее переносятся прибором чем циклические проверки малых объемов или проверки методом щупа (но всегда бывают исключения)
- в приборе есть часто встречающиеся поломки/неисправности (например, форнасос) и элементы, которые выходят из строя очень редко (например платы)
Пример работы: Ремонт гелиевого течеискателя Phoenix L300i производства Leybold в сервисном центре Лейфикон Вакуум Сервис
ООО "Лейфикон Вакуум Сервис" является официальным поставщиком и сервисным центром всего спектра вакуумного оборудования от компании Leybold GmbH (Лейбольд, Германия). Компания Лейфикон оказывает сервисные услуги своим клиентам уже более 10 лет:
- ремонт вакуумных насосов и компонентов
- проведение сервиса и оборудования с использованием оригинальных или аналогичных запасных частей
-
- проведение диагностики вакуумной системы с последующим устранением неполадок
- проведение течеискания
Пример выполнения ремонта гелиевого течеискателя Phoenix L300i (производства Leybold) представлен в отчете по результатам диагностики и далее в отчете по результатам выполнения работ.
Пример отчета по результатам диагностики и проведенного ремонта гелиевого течеискателя Phoenix L300i в компании Лейфикон
Информация по каталожным номерам для уточнения деталей для ремонта гелиевого течеискателя Phoenix
Наименование прибора |
Каталожный номер |
Быстрота действия форнасоса, м3/ч |
Макс. скорость откачки по гелию, л/с |
Описание |
Phoenix L300i |
250000v01 |
1,8 |
2,5 |
настольный прибор с компактным масляным форнасосом |
Phoenix L300i DRY |
250001v01 |
1,6 |
2,5 |
настольный прибор с компактным мембранным форнасосом |
Phoenix L300i modul |
250002v01 |
согласно форнасосу |
2,5 |
модульный прибор для работы с внешним форнасосом |
Phoenix Quadro |
250000v02 |
1,8 |
3,1 |
настольный прибор с компактным масляным форнасосом |
Phoenix Quadro DRY |
250001v02 |
3,0 |
3,1 |
настольный прибор с компактным мембранным форнасосом |
Phoenix Magno |
350000v02 |
15 |
3,1 |
напольный прибор с производительным масляным форнасосом |
Phoenix Magno DRY |
350001v02 |
5 |
3,1 |
напольный прибор со спиральным форнасосом |
Phoenix Vario |
350000v02 |
согласно форнасосу |
3,1 |
модульный прибор без форнасоса |
Различные возможные ситуации при ремонте гелиевого течеискателя Phoenix (по опыту компании Лейфикон)
В приборе система контроля непрерывно мониторит работу прибора, исходя из логики обеспечения многолетней безотказной работы система выдает сообщения вида W01, где 1-я литера имеет варианты W (предупреждение) или E (ошибка) следующее 2-х значное число обозначает код ошибки. Расшифровка согласно инструкции по эксплуатации.
Далее перечислим часто-встречающиеся ситуации (из-за большого разнообразия применений частоту и вероятность возникновения оценить мы не возьмемся).
-
E52, E60, E65, E69 Индикация на экране ошибок связанных с ТМН
В качестве возможных причин (и их устранение):
Данные сообщения касаются неисправностей ТМН не позволяющих работу масс спектрометра, причем возможные причины довольно различны (соответственно способы решения):
заклинивание форвакуумного насоса - проверка форвакуумного насоса ( возможно загустение масла или ржавчина)
плохое давление от форвакуумного насоса - проверка форвакуумного насоса (плохое качество масла, грязь внутри насоса, наличие течей, дефекты в насосе)
наличие дефектов в ТМН (при разгоне появляется свист/звон/дребезг) - проверка ТМН
заклинивание ТМН - проверка/дефектовка ТМН
неисправность вакуумметра - проверка вакуумметра, если исправен то калибровка
ТМН имеет необслуживаемый подшипник и не требует проведения каких-либо регулярных работ (например замены малянного резевруара, по аналогии с ТМН от Pfeiffer)
-
W31, W32, W33, E35, E36 (и прочие) индикация сообщений связанных с работой масс спектрометра
В качестве возможных причин (и их устранение):
Данные сообщения касаются работы компонентов масс спектрометра и не позволяют запустить систему (либо прерывают работу масс спектрометра, если ситуация возникла в ходе работы):
Действительно выход из строя одного из компонентов системы масс спектрометра: необходима пошаговая проверка каждого компонента с использованием подменного прибора.
Не включение (не разрешение запуска) компонента из-за невыполнения условий зависящих от нормальной работы прочих компонентов, например, высокое давление из-за поломки клапана или выхода из строя насоса.
Срабатывание ошибки при возникновении нештатной ситуации, нормальная работа при повторном запуске.
-
Неполадки при работе клапанной группы
Клапанная группа отвечает за корректное распределение рабочих потоков внутри прибора. Наиболее частой ситуацией является загрязнение одного или нескольких клапанов, что препятствует герметичному закрытию клапана - возникают недопустимые перетечки.
Поэтому, после проверки первичных причин, необходимо проверять все клапаны.
-
Ошибки связанные с работой электроники (W53, W55, W83, W84, W85)
Несмотря на проверенную годами конструкцию прибора и электронных компонентов иногда ошибки с электроникой встречаются. Безусловно бывают ложные сообщения, которые не появляются при повторном пуске.
Отметим ситуации когда в приборе действительно вышли из строя электронные модули
Для определения некорректного модуля используется подменный прибор. Далее после выявления неисправного компонента производится его заказ у производителя.
В качестве причин выход из строя помимо старения можно озвучить: наличие внутренних загрязнений в приборе из-за негерметичности линии выхлопа форвакуумного насоса (маслянный туман внутри прибора) или из-за сильно запыленной окружающей среды (эксплуатация в таких условиях недопустима) - на эти факторы необходимо обращать внимание.
-
Ошибки связанные с работой датчиков вакуума (E56, E58, E60, W62, E72, E73, W75, W76)
Все компоненты гелиевого течеискателя Phoenix работают согласованно, поэтому втречаются ситуации когда у ошибки может быть несколько причин, так и одна неполадка приводит к индикации нескольких ошибок (одна ошибка активная, после её сброса появление следующей).
Помимо проблем с работой форвакуумного насоса может быть непосредственно неиправность вакуумметров: либо выход из строя (при индикации значения около 0В), либо необходимость чистки калибровки (при некорректных показаниях или увеличенном времени срабатывания).
Отметим ситуации когда в приборе действительно вышли из строя электронные модули
Для определения некорректного модуля используется подменный прибор. Далее после выявления неисправного компонента производится его заказ у производителя.
-
Высокое фоновое значение при работе прибора на закрытый входной порт
При включении гелиевого течеискателя факторов отличной работы прибора является индикация минимального заявленного фона (1Е-12 мбар*л/с) при замере на закрытый входной порт.
Примечание:в приборе существуют различные режима подавления фона (Выключен/подавление внутреннего фона, подавление внешнего фона), в данной ситуации имеется ввиду показания при работе прибора в режиме "подавление внешнего фона".
Подробное разъяснение Leybold
Возможные варианты показаний прибора и причины
Достижение уровня 1Е-12 мбар*л/с с последующим колебанием показаний, а возможно и постепенным повышением до 1Е-10 мбар*л/с.
Постепенное снижение фона, с достижением уровней выше 1Е-8 мбар*л/с.
Возможные причины:
С точки зрения работы прибора важным является факт включения масс спектрометра и начало работы прибора в режиме GROSS с последующим переходом на FINE (и ULTRA) в зависимости от давления.
При нареканиях к наличию высокого фона перед выполнением работ необходимо проверить рабочие параметры прибора (экран вакуумная диаграмма), проверить калибровку, сделать замер внешней течи. Проверить все внутренние параметры - частоту, токи ТМН, давление форвакуумного насоса.
Далее уже производится осмотр клапанной группы, очистка всех уплотнений с последующей проверкой фона.
Иногда встречается потеря герметичности клапана калибровочной течи - тут нужно убрать течь и заглушить порт механически.
В редких случая причиной являются уплотнения между ТМН и клапанной группой, ТМН и камерой масс спектрометра, но если других причин не определно, необходимо проводить осмотр камеры масс спектрометра и проверять уплотнения.
Одной из последних мер может являться обдув гелиевого течеискателя внутри корпуса, но это довольно "тонкая" процедура и она может получиться и быть эффективной не в первом применений.
По опыту специалистов Лейфикон Вакуум Сервис, несмотря на сложность, гелиевый течеискатель Phoenix подлежит детальной диагностике и последующему ремонту
По результатам ремонта будут даны общие и конкретные, согласно Вашему применению, рекомендации, которые позволят эффективней эксплуатировать гелиевый течеискатель и увеличить его безаварийный период работы.
Рекомендуем основательно изучить инструкцию по эксплуатации на прибор а также ознакомиться с Основами гелиевого течеискания (русский).
При правильном обращении и своевременно обслуживании и ремонте гелиевый течеискатель не будет капризной техникой, которая впоследствии не будет применяться, а длительно послужит по прямому назначению сэкономив время по поиску микроутечек.