logo Поставка вакуумного оборудования по всей России
Поставка вакуумного оборудования по России
Дистрибьютор Leybold GmbH адрес
107023 Россия Москва, ул.Большая Семеновская, д. 40
почта телефон телефон
шапка

Вакуумное оборудование

Гелиевый течеискатель Phoenix от Leybold это необходимый прибор для проверки как больших вакуумных систем на герметичность, так и для оценки герметичности отдельных изделий, подробнее о приборах Phoenix L300i (3-е поколение) по ссылке , подробнее о приборах Phoenix Quadro по ссылке. Прибор состоит из вакуумной откачной группы, клапанной группы, блока элекктроники, системы масс спектрометра.
С точки зрения особенностей работы и последующего обслуживания и ремонта отметим такие моменты о гелиевых течеискателях Phoenix:

  • прибор является технически сложным и требует от оператора и механика (при обслуживании) знания инструкции по эксплуатации на прибор и входящие элементы
  • конструкции и особенности работы гелиевых течеискателей различных производителей отличаются
  • чаще всего проверка на герметичность камер (печи, напылительные машины больших объемов) тяжелее переносятся прибором чем циклические проверки малых объемов или проверки методом щупа (но всегда бывают исключения)
  • в приборе есть часто встречающиеся поломки/неисправности (например, форнасос) и элементы, которые выходят из строя очень редко (например платы)

Пример работы: Ремонт гелиевого течеискателя Phoenix L300i производства Leybold в сервисном центре Лейфикон Вакуум Сервис

ООО "Лейфикон Вакуум Сервис" является официальным поставщиком и сервисным центром всего спектра вакуумного оборудования от компании Leybold GmbH (Лейбольд, Германия). Компания Лейфикон оказывает сервисные услуги своим клиентам уже более 10 лет:

  • ремонт вакуумных насосов и компонентов
  • проведение сервиса и оборудования с использованием оригинальных или аналогичных запасных частей
  • проведение диагностики вакуумной системы с последующим устранением неполадок
  • проведение течеискания

Пример выполнения ремонта гелиевого течеискателя Phoenix L300i (производства Leybold) представлен в отчете по результатам диагностики и далее в отчете по результатам выполнения работ. Пример отчета по результатам диагностики и проведенного ремонта гелиевого течеискателя Phoenix L300i в компании Лейфикон

Информация по каталожным номерам для уточнения деталей для ремонта гелиевого течеискателя Phoenix

Наименование прибора Каталожный номер Быстрота действия форнасоса, м3 Макс. скорость откачки по гелию, л/с Описание
Phoenix L300i 250000v01 1,8 2,5 настольный прибор с компактным масляным форнасосом
Phoenix L300i DRY 250001v01 1,6 2,5 настольный прибор с компактным мембранным форнасосом
Phoenix L300i modul 250002v01 согласно форнасосу 2,5 модульный прибор для работы с внешним форнасосом
Phoenix Quadro 250000v02 1,8 3,1 настольный прибор с компактным масляным форнасосом
Phoenix Quadro DRY 250001v02 3,0 3,1 настольный прибор с компактным мембранным форнасосом
Phoenix Magno 350000v02 15 3,1 напольный прибор с производительным масляным форнасосом
Phoenix Magno DRY 350001v02 5 3,1 напольный прибор со спиральным форнасосом
Phoenix Vario 350000v02 согласно форнасосу 3,1 модульный прибор без форнасоса

Различные возможные ситуации при ремонте гелиевого течеискателя Phoenix (по опыту компании Лейфикон)

В приборе система контроля непрерывно мониторит работу прибора, исходя из логики обеспечения многолетней безотказной работы система выдает сообщения вида W01, где 1-я литера имеет варианты W (предупреждение) или E (ошибка) следующее 2-х значное число обозначает код ошибки. Расшифровка согласно инструкции по эксплуатации.
Далее перечислим часто-встречающиеся ситуации (из-за большого разнообразия применений частоту и вероятность возникновения оценить мы не возьмемся).

  • E52, E60, E65, E69 Индикация на экране ошибок связанных с ТМН
    В качестве возможных причин (и их устранение): Данные сообщения касаются неисправностей ТМН не позволяющих работу масс спектрометра, причем возможные причины довольно различны (соответственно способы решения):
    заклинивание форвакуумного насоса - проверка форвакуумного насоса ( возможно загустение масла или ржавчина)
    плохое давление от форвакуумного насоса - проверка форвакуумного насоса (плохое качество масла, грязь внутри насоса, наличие течей, дефекты в насосе)
    наличие дефектов в ТМН (при разгоне появляется свист/звон/дребезг) - проверка ТМН
    заклинивание ТМН - проверка/дефектовка ТМН
    неисправность вакуумметра - проверка вакуумметра, если исправен то калибровка
    ТМН имеет необслуживаемый подшипник и не требует проведения каких-либо регулярных работ (например замены малянного резевруара, по аналогии с ТМН от Pfeiffer)
  • W31, W32, W33, E35, E36 (и прочие) индикация сообщений связанных с работой масс спектрометра
    В качестве возможных причин (и их устранение): Данные сообщения касаются работы компонентов масс спектрометра и не позволяют запустить систему (либо прерывают работу масс спектрометра, если ситуация возникла в ходе работы):
    Действительно выход из строя одного из компонентов системы масс спектрометра: необходима пошаговая проверка каждого компонента с использованием подменного прибора.
    Не включение (не разрешение запуска) компонента из-за невыполнения условий зависящих от нормальной работы прочих компонентов, например, высокое давление из-за поломки клапана или выхода из строя насоса.
    Срабатывание ошибки при возникновении нештатной ситуации, нормальная работа при повторном запуске.
  • Неполадки при работе клапанной группы Клапанная группа отвечает за корректное распределение рабочих потоков внутри прибора. Наиболее частой ситуацией является загрязнение одного или нескольких клапанов, что препятствует герметичному закрытию клапана - возникают недопустимые перетечки.
    Поэтому, после проверки первичных причин, необходимо проверять все клапаны.
  • Ошибки связанные с работой электроники (W53, W55, W83, W84, W85) Несмотря на проверенную годами конструкцию прибора и электронных компонентов иногда ошибки с электроникой встречаются. Безусловно бывают ложные сообщения, которые не появляются при повторном пуске.
    Отметим ситуации когда в приборе действительно вышли из строя электронные модули Для определения некорректного модуля используется подменный прибор. Далее после выявления неисправного компонента производится его заказ у производителя.
    В качестве причин выход из строя помимо старения можно озвучить: наличие внутренних загрязнений в приборе из-за негерметичности линии выхлопа форвакуумного насоса (маслянный туман внутри прибора) или из-за сильно запыленной окружающей среды (эксплуатация в таких условиях недопустима) - на эти факторы необходимо обращать внимание.
  • Ошибки связанные с работой датчиков вакуума (E56, E58, E60, W62, E72, E73, W75, W76) Все компоненты гелиевого течеискателя Phoenix работают согласованно, поэтому втречаются ситуации когда у ошибки может быть несколько причин, так и одна неполадка приводит к индикации нескольких ошибок (одна ошибка активная, после её сброса появление следующей).
    Помимо проблем с работой форвакуумного насоса может быть непосредственно неиправность вакуумметров: либо выход из строя (при индикации значения около 0В), либо необходимость чистки калибровки (при некорректных показаниях или увеличенном времени срабатывания). Отметим ситуации когда в приборе действительно вышли из строя электронные модули Для определения некорректного модуля используется подменный прибор. Далее после выявления неисправного компонента производится его заказ у производителя.
  • Высокое фоновое значение при работе прибора на закрытый входной порт При включении гелиевого течеискателя факторов отличной работы прибора является индикация минимального заявленного фона (1Е-12 мбар*л/с) при замере на закрытый входной порт.
    Примечание:в приборе существуют различные режима подавления фона (Выключен/подавление внутреннего фона, подавление внешнего фона), в данной ситуации имеется ввиду показания при работе прибора в режиме "подавление внешнего фона". Подробное разъяснение Leybold Возможные варианты показаний прибора и причины
    Достижение уровня 1Е-12 мбар*л/с с последующим колебанием показаний, а возможно и постепенным повышением до 1Е-10 мбар*л/с.
    Постепенное снижение фона, с достижением уровней выше 1Е-8 мбар*л/с. Возможные причины: С точки зрения работы прибора важным является факт включения масс спектрометра и начало работы прибора в режиме GROSS с последующим переходом на FINE (и ULTRA) в зависимости от давления. При нареканиях к наличию высокого фона перед выполнением работ необходимо проверить рабочие параметры прибора (экран вакуумная диаграмма), проверить калибровку, сделать замер внешней течи. Проверить все внутренние параметры - частоту, токи ТМН, давление форвакуумного насоса. Далее уже производится осмотр клапанной группы, очистка всех уплотнений с последующей проверкой фона.
    Иногда встречается потеря герметичности клапана калибровочной течи - тут нужно убрать течь и заглушить порт механически.
    В редких случая причиной являются уплотнения между ТМН и клапанной группой, ТМН и камерой масс спектрометра, но если других причин не определно, необходимо проводить осмотр камеры масс спектрометра и проверять уплотнения.
    Одной из последних мер может являться обдув гелиевого течеискателя внутри корпуса, но это довольно "тонкая" процедура и она может получиться и быть эффективной не в первом применений.

По опыту специалистов Лейфикон Вакуум Сервис, несмотря на сложность, гелиевый течеискатель Phoenix подлежит детальной диагностике и последующему ремонту

По результатам ремонта будут даны общие и конкретные, согласно Вашему применению, рекомендации, которые позволят эффективней эксплуатировать гелиевый течеискатель и увеличить его безаварийный период работы.
Рекомендуем основательно изучить инструкцию по эксплуатации на прибор а также ознакомиться с Основами гелиевого течеискания (русский).

При правильном обращении и своевременно обслуживании и ремонте гелиевый течеискатель не будет капризной техникой, которая впоследствии не будет применяться, а длительно послужит по прямому назначению сэкономив время по поиску микроутечек.