Масляные диффузионные насосы Leybold идеально подходят для всех промышленных применений для получения высоких быстрот действия при давлениях в диапазоне 10-2- 10-7рмбар.
Насосы серии DIJ представляют собой высоковакуумные насосы (< 10-2 мбар). Они всегда работают вместе с форвакуумными насосами. Насосы серии DIJ имеют водяное охлаждение и в своей работе используют принцип диффузии масла. Они используются в высоковакуумных технологий для вакуумирования вакуумных камер.
Они достигают максимальной скорости откачки в диапазоне давлений от 10-2 до 10-7 мбар.
DIJ 10 |
DIJ 320 |
DIJ 16 |
DIJ 500 |
DIJ 20 |
DIJ 630 |
DIJ 35 |
DIJ 1000 |
|
Высоковакумный патрубок |
10" ANSI | 320 ISO-K | 16" ANSI | 500 ISO-K | 20" ANSI | 630 ISO-K | 35" ANSI | 1000 ANSI |
Форвакумный патрубок |
2" ANSI | 63 ISO-K | 3" ANSI | 100 ISO-K | 4" ANSI | 160 ISO-K | 6" ANSI | 200 ANSI |
Скорость откачки по азоту при 10-4 мбар, л/с |
2 800 | 6 800 | 10 800 | 28 000 | ||||
Диапазон рабочих давлений, мбар |
< 10-2 - 10-7 | |||||||
Предельное остаточное давление, мбар |
< 5·10-7 | |||||||
Максимальное давление на входе, мбар |
5·10-1 | |||||||
Кол-во масла мин./макс, л |
1,0 / 1,4 | 1,7 / 3,4 | 5,0 / 7,0 | 12,0 / 18,0 | ||||
Мощность нагрева, кВт |
2,4 | 3,6 | 10,8 | 21,6 | ||||
Масса, кг |
45 | 110 | 208 | 720 |
По сравнению с другими диффузионными насосами плотность пара в котле и паровой струе довольно мала, так что молекулы газа могут почти полностью диффундировать в паровую струю. Таким образом, большинство молекул, попадающих в струю пара, также откачиваются.
По этой причине скорость откачки диффузионных насосов чрезвычайно высока по отношению к площади всасывания и постоянна - начиная с входного давления от
10-3 мбар (0,75 x 10-3 торр) до очень низких давлений. В пределах диапазона давлений на струю пара никоим образом не влияет давление внутри вакуумной камеры.
Серия DIJ впечатляет инновационной и энергоэффективной конструкцией.
Важнейшими особенностями являются: новая концепция нагрева; различные фланцевые соединения; полная комплектация, включая форвакуумную ловушку и ловушку с охлаждением; различные варианты электрического подключения и мощная пятиступенчатая система сопел.
Диффузионные насосы серии DIJ используются в системах нанесения покрытий, системах вакуумной плавки и сушки, а также в вакуумных печах в области металлургии.
Все насосы DIJ поставляются с завода без откачиваемой жидкости.
В стандартную комплектацию насоса входят:
- центрирующее кольцо с центрирующей звездой; уплотнительное кольцо; наружное кольцо для высоковакуумного фланца,
- центрирующее кольцо с вставкой для форвакуумной ловушки, уплотнительное кольцо и наружное кольцо для форвакуумного фланца.